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第18章 设备故障（第3页）

“1区的裂片率133，高于历史平均值71，内部缺陷率94，高于历史平均值51，外部缺陷率213，高于历史平均值73。”

“2区的裂片率、内外部缺陷率也会比历史平均值高一到两个百分点。”

“只是没有1区那么严重。”

万里语气略微停顿。

“1区的主要问题可能与第一次调试时的断电有关。”

“其中有几台因为裂片率过于严重，已经搁置在一边没有使用。”

“这个是1区详细的培育数据。”

汇报完毕万里把记录表递给周淮生。

周淮生看了一眼。

又看了看设备，问道。

，！

“断电之后设备里有什么东西换过吗？”

“没有，所有线路、元器件，包括继电器都检查过，并没有什么问题。”

“腔体的压力值测过吗？”

“侧过，压强和功率都正常。”

“关机那几台长出来的东西在哪里？”

有人去拿过来递给他。

周淮生把它放在高倍镜下观察，可以看到白黄交替的明显分层线。

“老周，能看得出什么问题吗？”

程志文问。

“需要再测试一下。”

周淮生一边脱下手套一边吩咐。

“先把机罩拆掉，万里，找一个空旷的位置，在设备旁架一个测试台。”

“需要关一台设备吗？”

“不用，先用停机的试验，里面不要放东西，架好之后先空机开机。”

“收到。”

万里之前是周淮生的实验室助理。

后来被派到新公司做技术指导。

之后，周淮生和程志文又去了别的区间。

“老周你说这是设备的原因吗？”

他们走在干净的车间里，旁边有工人在忙碌。

值班的负责人过来赶紧过来跟在后面。

“可能是，但不一定。”

“一般问题的出现无非就是人员、机器设备、原材料、工艺方法和生产环境，什么原因都有可能。”

“但是1区比2区的问题明显就很严重。”

周淮生看了他一眼回答道。

“每次问题的产生不一定是单个原因。”

周怀生巡视了一圈。