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第107章（第2页）

排查过程中，众人越来越疑惑。

第一次检查没有任何异样，说明基础的东西没有任何问题。

那现在就只能是程潇做的EUV出了问题。

田帅等人心里已经开始质疑起来，但又不好当着程潇的面问。

“看来情况有些糟糕。”

虽然程潇不愿意相信，但确实是自己制作的EUV出了问题。

这时，唐琪走过来说道：“程潇，咱们要把EUV仪器拆下来检查吗？”

这仪器是他们好不容易才安装上去的，如果又重新捣鼓一下，起码得花上一天时间！

更何况仪器内部无比精密，先不说能不能检查出毛病出在什么地方，万一不小心磕着碰着弄坏了，他们这几天都算是白干了！

所以这是一个非常冒险的举动。

程潇听完后也陷入了沉思，想了半天后，他给出了一个让所有人震惊的回答。

“这样，我把外壳拆开，重新做一次实验。”

“什么？！”

众人明白了程潇的意思：“你是想直接通过实验观测问题所在？”

“嗯。”

程潇点了点头，说道：“待会儿我就待在实验室里，你们把光学显微镜给我拿过来，我一点一点看着做。”

疯了，简直是疯了！

第一次听说有人要在光刻机内部盯着做实验的！

“不行，这样太危险了！”

唐琪有些担心的说到：“光脉冲伤害极大，万一出了什么事，可不是闹着玩的！”

“眼下时间紧迫，我们没有别的选择了。”

程潇态度十分坚决，自己走出去将显微镜拿了进来。

众人经过几天的相处，也是知道他的脾气，所以也只好按照程潇说的做。